四氟化钛

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时间：2018-12-11 17:48 点击量：

产品名称:四氟化钛

CAS:7783-63-3

别名：头孢呋辛酸;四氟化钛;氟化钛(IV);氟化钛(IV),98%;头孢呋辛酸(中间体);四氟化钛,99%;氟化钛(IV)25G;四氟化钛(IV)

英文名：Titanium tetrafluoride

化学性质四氟化钛为有吸湿性的白色粉末，相对密度2.798，熔点284℃，常压下284℃即升华。易溶于水并分解，不溶于乙醚。在100℃时与硅氯仿反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。
用途用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线。
生产方法以四氯化钛和氟化氢为原料制备四氟化钛，将50%的四氯化钛按化学计量比的量装入铂制或铜制的反应器中，滴加氟化氢使其反应，将反应物静置数小时，再徐徐加热，加热至200℃时蒸馏出含氟化氢的氯化氢，再继续升温至284℃以上使四氟化钛升华，经冷却即得到四氟化钛粉末产品，用密封的铜制容器贮存。其反应如下：

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